| D-100 D-200 D-300 D-400MTI 數(shù)字式電容位移傳感器 線(xiàn)性度高達(dá)滿(mǎn)量程的 0.01% 具有亞納米級(jí)別的分辨率 可以選擇標(biāo)準(zhǔn)的探頭和定制的探頭 
先進(jìn)的功能 1、具有行業(yè)中zui高的分辨率，線(xiàn)性度高達(dá) 0.01% 2、不需要模數(shù)轉(zhuǎn)化器 3、通過(guò)網(wǎng)線(xiàn)或者 USB 線(xiàn)纜自動(dòng)連接 4、所有的通道同時(shí)測(cè)量可高達(dá) 20kHz 的采樣速度 5、測(cè)量范圍可調(diào)，一個(gè)探頭，多個(gè)測(cè)量范圍，可以通過(guò)軟件，將數(shù)據(jù)保存為csv文件，可以通過(guò)軟件進(jìn)行靈活的濾波和平均控制。 具有數(shù)字化接口設(shè)計(jì)系列的放大器，它使用的技術(shù)將一個(gè)高度可靠的電容式電場(chǎng)測(cè)量（位移）直接轉(zhuǎn)化為一個(gè)高度精確的位移數(shù)字信號(hào)。 電容位移傳感器的應(yīng)用 顯微鏡聚焦 „鏡頭的對(duì)準(zhǔn) „測(cè)量零件的外形 „測(cè)量零件的傾斜 „測(cè)量半導(dǎo)體硅片的厚度 „測(cè)量壓電平臺(tái)的位移 „測(cè)量振動(dòng) „測(cè)量電腦硬盤(pán)運(yùn)行和厚度 „測(cè)量剎車(chē)盤(pán)的翹曲和厚度 „測(cè)量金屬板的厚度 „測(cè)量光伏晶圓  
 
 
 
 
MTI 標(biāo)準(zhǔn)探頭的特點(diǎn) ● 電纜和探頭使用的的溫度范圍: -130ºC -- 200ºC (也有高溫探頭，在下一頁(yè)有介紹) ● 連接頭的使用溫度范圍: -65ºC -- 85ºC ● 精度: 高于滿(mǎn)量程的±0.02% （當(dāng)探頭和放大器經(jīng)過(guò)和被測(cè)物校準(zhǔn)后） ● 標(biāo)準(zhǔn)放大器濾波帶寬: 500Hz ● 可選濾波帶寬 10Hz, 100Hz, 1kHz, 2kHz, 5kHz 以及 660Hz-Bessel ● 1分辨率 RMS: (0.000423 x 濾波帶寬 Hz + 1.2) x 0.00002 x 量程 ● 探頭和電纜互換性: ± 0.5%（在沒(méi)有經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的情況下互換） ● 承受壓力范圍: 14MPa- (不適用于高溫探頭) ● 材料: 不銹鋼結(jié)構(gòu),內(nèi)部沒(méi)有電子元器件 ● 帶線(xiàn)纜的探頭，同軸電纜長(zhǎng)度: 2.4m (可選延長(zhǎng)線(xiàn)纜.) 
| 型號(hào) ASP-1-ILR | 量程 | 2zui大擴(kuò)展量程 | 感度 | 感測(cè)直徑E | 探頭直徑D | 探頭長(zhǎng)度L | zui小范圍 | | µm 25.4 | 10 | µm/V 2.54 | mm 1.09 | mm 2.36 | mm 9.53 | µm 1.270 | | ASP-2-ILR | 50.8 | 10 | 5.08 | 1.55 | 2.84 | 9.53 | 2.540 | | ASP-5-ILR | 127.0 | 10 | 12.70 | 2.49 | 3.96 | 9.53 | 6.350 | | ASP-10-ILR | 254.0 | 10 | 25.40 | 3.53 | 5.54 | 9.53 | 12.700 | | ASP-20-ILR | 508.0 | 4 | 50.80 | 5.00 | 7.92 | 9.53 | 25.400 | | ASP-50-ILR | 1270.0 | 3 | 127.00 | 7.98 | 13.87 | 9.53 | 63.500 | | ASP-100-ILR | 2540.0 | 2 | 254.00 | 11.25 | 25.40 | 9.53 | 127.000 | | ASP-200-ILR | 5080.0 | 2 | 508.00 | 15.93 | 38.10 | 9.53 | 254.000 | 
| 型號(hào) ASP-25M-CTR | 量程 | 2zui大擴(kuò)展范圍 | 感度 | 感測(cè)直徑E | 探頭直徑D | 探頭長(zhǎng)度L | zui小范圍 | | µm 25.4 | 10 | µm/V 2.54 | mm 1.09 | mm 9.53 | mm 25.40 | µm 1.270 | | ASP-50M-CTR | 50.8 | 10 | 5.08 | 1.55 | 9.53 | 25.40 | 2.540 | | ASP-125M-CTR | 127.0 | 10 | 12.70 | 2.49 | 9.53 | 25.40 | 6.350 | | ASP-250M-CTR | 254.0 | 10 | 25.40 | 3.53 | 9.53 | 25.40 | 12.700 | | ASP-500M-CTR | 508.0 | 4 | 50.80 | 5.00 | 11.13 | 25.40 | 25.400 | | ASP-1250M-CTR | 1270.0 | 3 | 127.00 | 7.98 | 15.88 | 25.40 | 63.500 | | ASP-2500M-CTR | 2540.0 | 2 | 254.00 | 11.25 | 25.40 | 25.40 | 127.000 | 
| 產(chǎn)品型號(hào) ASP-1-ILA | 量程 | 2zui大擴(kuò)展范圍 | 感度 | 感測(cè)直徑E | 探頭直徑D | 探頭長(zhǎng)度L | zui小范圍 | | µm 25.4 | 10 | µm/V 2.54 | mm 1.09 | mm 2.36 | mm 9.53 | µm 1.270 | | ASP-2-ILA | 50.8 | 10 | 5.08 | 1.55 | 2.84 | 9.53 | 2.540<,/,SPAN> | | ASP-5-ILA | 127.0 | 10 | 12.70 | 2.49 | 3.96 | 9.53 | 6.350 | | ASP-10-ILA | 254.0 | 10 | 25.40 | 3.53 | 5.54 | 9.53 | 12.700 | | ASP-20-ILA | 508.0 | 4 | 50.80 | 5.00 | 7.92 | 9.53 | 25.400 | | ASP-50-ILA | 1270.0 | 3 | 127.00 | 7.98 | 13.87 | 9.53 | 63.500 | | ASP-100-ILA | 2540.0 | 2 | 254.00 | 11.25 | 25.40 | 9.53 | 127.000 | | ASP-200-ILA | 5080.0 | 2 | 508.00 | 15.93 | 38.10 | 9.53 | 254.000 | 
 
| 型號(hào) ASP-0.5-CTA | 量程 | 2zui大擴(kuò)展范圍 | 感度 | 感測(cè)直徑E | 探頭直徑D | 探頭長(zhǎng)度L | zui小范圍 | | µm 12.7 | 20 | µm/V 1.27 | mm 0.74 | mm 6.35 | mm 63.50 | µm 0.635 | | ASP-25M-CTA | 25.4 | 10 | 2.54 | 1.09 | 6.35 | 63.50 | 1.270 | | ASP-50M-CTA | 50.8 | 10 | 5.08 | 1.55 | 6.35 | 63.50 | 2.540 | | ASP-125M-CTA | 127.0 | 10 | 12.70 | 2.49 | 6.35 | 63.50 | 6.350 | | ASP-250M-CTA | 254.0 | 10 | 25.40 | 3.53 | 6.35 | 63.50 | 12.700 | | ASP-500M-CTA | 508.0 | 5 | 50.80 | 5.00 | 11.10 | 63.50 | 25.400 | | ASP-1250M-CTA | 1270.0 | 3 | 127.00 | 7.98 | 15.88 | 63.50 | 63.500 | | ASP-2500M-CTA | 2540.0 | 2 | 254.00 | 11.25 | 25.40 | 63.50 | 127.000 | | ASP-5000M-CTA | 5080.0 | 2 | 508.00 | 15.93 | 38.10 | 101.60 | 254.000 | | ASP-500-CTA | 12700.0 | 1 | 1270.00 | 25.22 | 82.55 | 101.60 | 635.000 | 
| 型號(hào) ASP-1-PCA | 量程 | 2zui大擴(kuò)展范圍 | 感度 | 感測(cè)直徑E | 探頭直徑D | 探頭長(zhǎng)度L | zui小范圍 | | µm 25.4 | 10 | µm/V 2.54 | mm 1.09 | mm 2.36 | mm 2.54 | µm 1.270 | | ASP-2-PCA | 50.8 | 10 | 5.08 | 1.55 | 2.84 | 2.54 | 2.540 | | ASP-5-PCA | 127.0 | 10 | 12.70 | 2.49 | 3.96 | 2.54 | 6.350 | | ASP-10-PCA | 254.0 | 10 | 25.40 | 3.53 | 5.54 | 2.54 | 12.700 | | ASP-20-PCA | 508.0 | 4 | 50.80 | 4.98 | 7.92 | 2.54 | 25.400 | | ASP-50-PCA | 1270.0 | 3 | 127.00 | 7.98 | 13.87 | 2.54 | 63.500 | | ASP-100-PCA | 2540.0 | 2 | 254.00 | 11.25 | 25.40 | 2.54 | 127.000 |  | 型號(hào) ASP-1-PCR | 量程 | 2zui大擴(kuò)展范圍 | 感度 | 感測(cè)直徑E | 探頭直徑D | 探頭直徑L | zui小范圍 | | µm 25.4 | 10 | µm/V 2.54 | mm 1.09 | mm 2.36 | mm 2.54 | µm 1.270 | | ASP-2-PCR | 50.8 | 10 | 5.08 | 1.55 | 2.84 | 2.54 | 2.540 | | ASP-5-PCR | 127.0 | 10 | 12.70 | 2.49 | 3.96 | 2.54 | 6.350 | | ASP-10-PCR | 254.0 | 10 | 25.40 | 3.53 | 5.54 | 2.54 | 12.700 | | ASP-20-PCR | 508.0 | 4 | 50.80 | 4.98 | 7.92 | 2.54 | 25.400 | | ASP-50-PCR | 1270.0 | 3 | 127.00 | 7.98 | 13.87 | 2.54 | 63.500 | | ASP-100-PCR | 2540.0 | 2 | 254.00 | 11.25 | 25.40 | 2.54 | 127.000 | | ASP-200-PCR | 5080.0 | 2 | 508.00 | 15.93 | 38.10 | 5.08 | 254.000 | | 
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